[더구루=정예린 기자] 일본 반도체 장비업체 '도쿄일렉트론(Tokyo Electron)'이 TSMC 현지 공장 인근에 연구 거점을 구축한다. TSMC와의 기존 파트너십을 기반으로 차세대 1나노미터(nm) 반도체 장비 개발을 가속화하며 현지 협업을 강화할 전망이다.
EUV·3D 패키징 등 첨단 장비 개발·제조 집중
5년간 1.5조엔 투입해 R&D 역량 2배↑…AI 수요 대응
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