'EUV 노광기' 한 대 가격 5000억 돌파…ASML 차세대 제품가격 공개

'하이 NA' 판매가 4억 달러 책정
미세 반도체 회로 구현 가능…비용·시간 절감
파일럿 장비 나오기도 전에 선주문 잇따라
인텔 가장 먼저 '찜'…삼성·TSMC 경쟁 우위 목표

 

[더구루=정예린 기자] 네덜란드 ASML의 차세대 극자외선(EUV) 노광 장비 가격이 5000억원을 호가하는 것으로 전해진다. 고가에도 불구하고 이미 주문을 확보하는 등 경쟁이 심화되고 있는 반도체 초미세공정의 '게임 체인저'가 될 수 있을지 주목된다. 


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