[더구루=오소영 기자] 세계 1위 파운드리 회사 대만 TSMC가 미세 공정 구현의 핵심 네덜란드 ASML의 '극자외선(EUV)' 장비 도입 현황을 공유했다. 세계에서 가장 많이 장비를 보유했으며, 생산성 향상과 에너지 소비량 절감에 진전을 이뤘다고 강조했다. 미세 공정 시장에서 경쟁력을 높여 선두 지위를 사수한다는 포부다.
유럽 기술 심포지엄서 EUV 활용 현황 공개
EUV 장비 점유율 56%
생산성 10배 높이고 전력 소비량 24% 낮춰
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