[더구루=정예린 기자] 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 노광 장비가 반도체 공정을 넘어 생명공학 분야에서도 활용 가능성을 입증했다. 반도체 미세 공정의 핵심 설비로만 여겨지던 EUV 장비가 의료·바이오 센서 제조에도 적용되면서, ASML의 기술 적용 범위와 장기 수요 기반이 한층 넓어질 수 있을 것으로 기대된다.
EUV로 의료용 나노포어 센서 칩 웨이퍼 제조 첫 실증
아이멕, 반도체 공정으로 분자 센서 양산 경로 제시
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