중국, 'DUV' 장비 역설계 실패에 고장까지…결국 ASML에 'SOS'

반도체 장비 부문에서 난관

 

[더구루=홍성일 기자] 중국이 ASML의 심자외선(DUV) 노광 장비를 리버스 엔지니어링하려다 실패했다. 미국의 반도체 제재 속 반도체 독립을 시도하고 있는 중국이 노광장비 부문에서 난관에 부딪혔다는 분석이다.


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