[더구루=정예린 기자] 키옥시아가 일본 스타트업 'PeS(포토 일렉트론 소울·Photo electron Soul)', 나고야대학교와 손잡고 차세대 반도체 검사 기술 도입을 추진한다. 3D 낸드플래시 생산 과정에서 불량률을 줄이고 수율을 개선, 글로벌 메모리 시장에서 경쟁 우위를 확보할 것으로 전망된다.
日 PeS·나고야대 공동 개발 기술 이달 말 검증
3D 낸드 내부 결함 비접촉 검사…수율 개선 등 기대
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