[더구루=정예린 기자] 네덜란드 ASML이 벨기에 반도체산업 연구기관 '아이멕(IMEC)’과의 협력을 확대한다. 이르면 내년 시작될 차세대 극자외선(EUV) 노광 장비 '하이(High) NA' 대량 양산 체제 구축을 가속화한다.
하이 NA 장비 '트윈스캔 EXE:5000' 사전 이용 기회 제공
고객사 지원 강화해 생태계 구축…이르면 내년 대량 양산
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