[단독] ASML, 화재 났던 베를린 공장 내달 생산 재개

웨이퍼 클램프 생산라인 재가동 예상
EUV 장비 리드타임 단축 기대

 

[더구루=오소영 기자] 네덜란드 노광장비 회사 ASML이 화재로 중단했던 베를린 공장의 일부 생산라인을 재가동한다. 반도체 공급 부족으로 급증하고 있는 극자외선(EUV) 장비 수요에 대응한다.

 

20일 업계에 따르면 ASML은 내달 말 베를린 공장에서 EUV 시스템 모듈인 웨이퍼 클램프의 생산을 재개할 예정이다. 웨이퍼 클램프는 노광 공정 시 웨이퍼를 고정하는 핵심 부품이다.

 

ASML은 지난 1월 3일 베를린 공장에서 화재가 발생하며 웨이퍼 클램프 생산을 멈췄었다. 당시 전체 3만2000㎡ 부지 중 약 200㎡만 영향을 받았는데 피해 현장 중 웨이퍼 클램프의 생산라인도 포함됐다. <본보 2022년 1월 4일 참고 [단독] 中시안 봉쇄 이어 'ASML' 독일 공장 화재…반도체 대란 현실화>

 

업계는 당장 노광장비 공급량이 축소될 것으로 예상했다. 블룸버그 산하 연구기관 블룸버그인텔리전스는 "핵심 부품 출하량이 10% 감소하면 전 세계 노광장비 공급은 일시적으로 8.4% 줄 수 있다"고 전망했었다.

 

특히 ASML이 독점 공급하는 EUV 장비의 리드 타임(주문 후 납품까지 소요 시간)이 길어질 수 있다는 우려가 커졌다. EUV는 10나노미터(㎚·1㎚는 10억분의 1m) 이하 첨단 공정 구현에 꼭 필요한 장비로 꼽힌다. TSMC와 삼성전자, SK하이닉스, 인텔 등 반도체 회사들이 미세 공정을 도입하며 EUV 주문을 확대하는 가운데 베를린 공장의 화재가 겹치면서 수급 불균형이 심화될 것이라는 분석이다.

 

ASML은 재가동에 만전을 기하며 EUV 주문에 대응할 계획이다. ASML은 2020년 31대, 2021년 40대 안팎에 그쳤던 EUV 노광장비 생산량을 올해 55대, 2023년 60대로 확대한다. 본사가 위치한 네덜란드 남부 펠트호번 내 새 공장 부지를 마련하며 추가 투자도 모색하고 있다.

 


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