화웨이, 반도체 EUV 특허기술 공개…美 제재 돌파구 찾나

중국 지식산권국에 작년 5월 특허 신청
미세 공정 개발 시동

 

 

[더구루=오소영 기자] 중국 화웨이가 극자외선(EUV) 노광장비에 대한 특허를 냈다. 미국의 견제로 네덜란드 ASML로부터 첨단 장비를 받지 못하게 되자 기술 개발을 통한 독립 움직임을 강화하고 있다.


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