[더구루=김은비 기자] 미국 로렌스리버모어 국립연구소(LLNL)가 극자외선(EUV) 리소그래피 분야에서 획기적인 전력 효율을 자랑하는 차세대 레이저 기술 개발에 나섰다. 기존 레이저 기술 대비 '10배' 뛰어난 전력 효율을 보여줄 것으로 기대된다. 반도체 제조 기술 핵심으로 주목받는 EUV를 대체할 가능성이 높아 업계의 관심이 모아지고 있다.
LLNL, BAT 레이저 프로토타입 개발…EUV 광 생성 시스템과 결합 테스트
차세대 반도체 제조 기술의 핵심으로 주목받는 EUV 대체 가능성 업계 주목
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