[더구루=정예린 기자] 중국 칭화대학교 연구팀이 초미세 반도체 제조의 핵심 소재인 극자외선(EUV) 포토레지스트를 독자 개발했다. 중국이 EUV 공정용 소재 기술을 자체 확보한 것은 이번이 처음으로, 반도체 자립을 위한 기술 내재화에 속도가 붙을 것으로 보인다. [유료기사코드] 25일 칭화대에 따르면 쉬 화핑 화학과 교수 연구팀은 고감도·고해상도·저결함 특성을 동시에 갖춘 새로운 EUV 포토레지스트 개발에 성공했다. 연구 결과는 최근 'EUV 포토레지스트에 이상적인 제형으로서의 폴리텔루옥산'이라는 제목으로 국제 학술지 '사이언스 어드밴시스(Science Advances)'에 게재됐다. 이번 연구는 텔루륨(Te)을 주요 성분으로 활용한 고분자 물질 '폴리텔루옥산(Polytelluoxane)'을 기반으로 한다. 첨단 반도체 제조에 필수적인 고성능 리소그래피 소재를 단일 구조로 구현한 것이 핵심이다. EUV 포토레지스트는 반도체 웨이퍼 위에 미세 회로 패턴을 새기는 리소그래피 공정에 사용되는 감광재다. 5나노미터(nm) 이하 선폭을 구현하려면 소재 자체의 감도, 정밀도, 패턴 균일성, 결함 억제력이 모두 뛰어나야 한다. 지금까지는 감도를 높이면 해상도가 떨어지거나

[더구루=오소영 기자] 세르비아 정부가 신형 훈련·경공격기 구매 절차에 착수했다. 연내 시범비행을 실시하고 평가를 거쳐 최대 24대를 발주할 계획이다. 한국항공우주산업(KAI)을 유력한 후보군으로 검토하며 유럽 방공 수호의 핵심 파트너로 'K방산'의 역할이 부각되고 있다. [유료기사코드] 25일 세르비아 방산·항공 전문지 '탱고식스'와 야네스 등 외신에 따르면 세르비아 국방부는 훈련·경공격기 24대 구매를 추진하고 있다. 2030년 인도를 목표로 한다. 세르비아는 유고슬라비아 시절 개발된 경공격기 '소코 지포 슈퍼 갈랩(Soko G-4 Super Galeb)'을 운용하고 있다. 총 85대를 인도받았으며, 현재 21대를 보유했다. 하지만 노후화가 심각해 실질적으로 운용 가능한 대수는 10여 대에 불과하다. 세르비아 국방부 산하 방산물자 조달을 담당하는 네나드 밀로라도비치(Nenad Miloradović) 차관보는 지난 6월 16~22일(현지시간) 프랑스 르부르제 공항에서 열린 '제55회 파리 에어쇼'에서 새 전투기 도입을 위한 입찰을 공식화했다. 그는 연내 시범 비행을 실시한다고 예고하며 빠른 속도를 강조했다. 이후 약 한 달 만인 지난 21일(현지시간)에는