[더구루=오소영 기자] 네덜란드 반도체 노광장비 회사 ASML이 내년까지 극자외선(EUV) 장비의 주문을 마쳤다. 반도체 업계의 미세공정 경쟁이 치열해지면서 ASML의 존재감이 커지고 있다.
25일 업계에 따르면 ASML은 내년까지 EUV 노광장비 주문을 모두 받았다. EUV는 기존 불화아르곤(ArF)보다 빛의 파장이 14배가량 짧아 미세 회로를 그리는 데 유용하다. 10나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 이하 반도체 생산을 위한 핵심 기술로 평가된다. ASML은 EUV 장비를 독점 생산하고 있다.
첨단공정 투자가 늘며 EUV 노광장비 수요도 늘었다. 삼성전자와 TSMC는 2019년부터 7나노 공정에 EUV를 적용했다. 양사는 현재 EUV를 활용한 5나노 공정을 양산 중이며 내년에 3나노에 진입할 예정이다. 삼성전자는 파운드리 외에 10나노급 3세대 1z D램에도 EUV 공정을 도입했다.
공정 미세화와 함께 생산량도 늘리고 있다. 차량용과 스마트폰 등 반도체 수요가 급증하며 품귀 현상이 심화되고 있어서다. TSMC는 올해 설비투자액 250억~280억 달러(약 28~32조원)의 80%를 7나노 이하 초미세화 선단공정에 사용하기로 했다. 미국에 애리조나주에 360억 달러(약 41조원)를 투자해 6개 생산거점도 마련한다. 신설 공장에서는 EUV 기반 5나노 기술로 반도체가 생산된다.
삼성전자는 평택2공장에 구축하는 5나노 파운드리 라인 규모를 2만8000장에서 4만3000장으로 늘렸다. 미국에서도 170억 달러(약 19조원) 규모의 추가 투자를 검토하고 있다. SK하이닉스 또한 올해부터 오는 2025년까지 4조7500억원을 들여 EUV 장비를 들여오기로 했다.
밀려드는 수요에 노광장비 쟁탈전은 심화되고 있다. 이재용 삼성전자 부회장이 지난해 직접 네덜란드 ASML 본사를 찾아가 물량 확보를 요청한 바 있다. 장비 확보가 늦어지면 미세 공정 경쟁에서 뒤처질 수 있어서다.
ASML은 지난해 매출액 140억 유로(약 19조원), 순이익 36억 유로(약 5조원)를 달성했다. 전년 대비 각각 18.6%, 38.5% 급증해 최고 실적을 찍었다. 올해에도 장비 주문이 늘며 호실적이 예상된다. ASML은 올해 40~50대의 EUV 노광장비를 출하할 것으로 추정된다. 이 중 80%는 TSMC와 삼성전자가 가져간다.
