中, 193나노 DUV 고체 레이저 광원 '세계 최초' 개발...반도체 미세 패터닝 '필수'

중국과학원, 국제 학술지 '어드밴스드 포토닉스'에 논문 발표
기체 DUV 레이저 대비 장비 유지보수 비용↓·에너지 효율↑

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