ASML, 대만서 보조금 신청…대규모 투자 탄력

약 1.3조원 투자해 첨단 장비 생산시설·연구센터 건설
곧 2단계 심사 돌입…오는 5월 인센티브 규모 확정
최대 고객사 'TSMC' 근거리 지원…2나노 개발 속도

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