
[더구루=오소영 기자] 러시아가 X선 노광장비 개발에 90억원 이상 투입한다. 네덜란드 ASML이 독점하고 있는 EUV 장비보다 성능이 우수한 장비를 상용화해 반도체 시장에서 서방에 내준 주도권을 가져가려는 행보로 분석된다.
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