[더구루=오소영 기자] 네덜란드 ASML이 독일 베를린 공장 화재로 극자외선(EUV) 장비 생산에 차질을 빚을 전망이다. 최신 공정의 팹에 9~18대가 필요할 것으로 추정되는 가운데 EUV 공급을 ASML이 독점하고 있어 삼성전자와 SK하이닉스, 인텔, TSMC 등 반도체 제조사들이 긴장하고 있다.
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