코미코, 美 애리조나에 반도체 장비 세척·코팅 시설 오픈…EUV·1나노 미만 공정 대응 설계

2026.01.14 13:25:35

美 세 번째 거점 가동…오리건·텍사스 이어 애리조나까지 확장
장비 세척·코팅 현지 처리 역량 확보

[더구루=정예린 기자] 국내 반도체 장비 세척·특수코팅 전문기업 '코미코'가 미국 애리조나주에 북미 세 번째 생산 거점을 구축했다. 글로벌 반도체 제조사들이 밀집한 지역에 생산시설을 추가로 확보, 현지 장비 유지·관리 수요를 안정적으로 흡수하며 공급망 경쟁력을 강화할 것으로 기대된다. 

 

14일 애리조나 상공회의소에 따르면 코미코는 최근 메사시에 위치한 신규 반도체 장비 세척·코팅 공장의 개소식을 열고 본격 가동에 들어갔다. 지난 2024년 약 5000만~6000만 달러 규모의 투자 계획을 발표한 이후 약 2년 만이다.

 

메사 공장은 연면적 12만5000스퀘어피트(약 1만1600㎡) 규모로 다수의 클린룸과 세척·특수코팅 설비, 진단·계측 장비를 갖췄다. 반도체 장비 부품의 세정과 코팅, 리페어 공정을 한 곳에서 수행할 수 있도록 구성됐다.

 

신규 시설은 코미코가 미국에서 운영하는 세 번째 생산 거점이다. 기존 오리건주 힐스버러와 텍사스주 오스틴에 이어 애리조나까지 거점을 확장하면서, 북미 주요 반도체 생산 지역을 연결하는 운영 체계를 갖추게 됐다.

 

애리조나 공장은 반도체 장비 유지·관리 공정을 생산 현장 인근에서 처리하는 역할을 맡는다. 공정 미세화가 진행될수록 장비 부품의 오염 관리와 코팅 품질이 수율과 직결되는 만큼, 세척·코팅 공정의 처리 속도와 안정성이 중요해지고 있다.

 

코미코는 애리조나 공장을 극자외선(EUV) 공정과 1나노미터(nm) 미만 차세대 공정 노드까지 대응할 수 있도록 설계했다. 첨단 공정으로 갈수록 장비 부품 관리 기준이 강화되는 가운데 고난도 세척·코팅을 현지에서 처리할 수 있는 설비를 갖췄다는 점이 특징이다.

 

신공장은 미국에 생산 거점을 둔 주요 반도체 제조사들과의 협업을 뒷받침하는 거점으로 활용될 예정이다. 애리조나와 텍사스, 오리건을 중심으로 삼성전자, TSMC, 인텔, 마이크론의 대규모 투자가 이어지고 있다. 삼성전자는 텍사스 오스틴에 이어 테일러에 파운드리 공장을 건설 중이고 인텔은 애리조나를 포함한 미국 4개 주에서 생산시설 투자를 진행하고 있다. 마이크론도 미국 내 메모리 생산시설 증설을 추진 중이다.

 

코미코는 1996년 설립된 국내 최초의 반도체 장비 세척·특수코팅 전문 기업이다. 반도체 공정 장비와 부품이 화학물질과 플라즈마 환경에 반복 노출되며 발생하는 손상을 방지하는 세척·코팅 공정을 핵심 사업으로 하고 있다. 고성능 계측 장비와 파티클 측정 시스템을 활용해 세척 이후 부품의 오염 상태를 관리한다. 세척·코팅 공정 처리 시간을 줄여 장비 가동 중단을 최소화해준다. 한국에 본사를 두고 미국, 싱가포르, 중국, 대만 등에 사업장을 운영하고 있다.

정예린 기자 yljung@theguru.co.kr
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