日 연구진, '가성비' EUV 노광 장비 설계...ASML 독점 체제 깬다

일본 오키나와 과학기술원 연구팀 발표
저렴하고 간소화된 EUV 노광 장비 설계 고안
'세계 유일 공급사' ASML 독점 체제 깨질까

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