'EUV 끝판왕' ASML, 로드맵 공개…"2023년 상반기 신제품 인도"

2023년 상반기부터 0.55NA EUV 장비 고객사에 공급
3나노 이하 미세 공정 개발 지원
웨이퍼 처리량 향상

• 페북
• 트윗
• 카톡
• 기타