TSMC·삼성전자 R&D 거점에 도쿄일렉트론 합류...日 요코하마 '반도체 허브' 급부상

R&D센터 신설하고 본사 이전…계열사 2곳도 입주
日 요코하마, 동아시아 반도체 허브로 급부상

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