[더구루=정예린 기자] 미국 반도체 종합솔루션 전문업체 인테그리스(Entegris)가 대만에 추가 대규모 투자를 단행한다. 5나노미터(nm) 이하 초미세공정 기반 반도체 소재 생산에 집중한다.
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