[더구루=정예린 기자] TSMC가 미국 애리조나 공장 설립 비용을 낮추기 위해 대만에서 부품과 장비를 조달한다. 대규모 화물 운송이 이뤄지는 만큼 대만 3대 해운사가 지원사격에 나선다. 

24일 업계에 따르면 TSMC는 미국으로 설비를 옮기기 위해 양밍해운을 비롯해 에버그린, 완하이라인 등 대만 해운사 3곳과 논의하고 있다. 

운임은 1억1000만 달러(약 1282억원) 규모로 4000~5000개의 컨테이너가 사용될 전망이다. 이르면 오는 10월 대만을 출발해 미국 서부에 도착하는 일정이다. 이후 육로 등을 통해 최종 애리조나 신공장에 도착하면 장비 배치 및 셋업을 시작한다. 

류더인 TSMC 회장의 승인을 거쳐 애리조나 공장에 설비를 납품하는 파트너사들과 구체적인 비용 지원 관련 논의에도 착수했다. 

양밍해운은 "TSMC가 필요한 모든 부품을 배송하기 위해서는 많은 공간(컨테이너)이 필요하기 때문에 여러 회사가 관련될 수 있지만 양밍해운은 이 중요한 작업을 돕기 위해 최선을 다할 것"이라고 밝혔다. 

TSMC는 지난해 애리조나주 공장 건설을 공식화했다. 120억 달러(약 13조5500억원)를 투입해 5나노미터(nm) 칩을 양산하는 생산시설을 짓는다. 생산능력은 웨이퍼 기준 월 2만장으로 2024년 완공 목표다. 애리조나주 피닉스시 북부에 대규모 부지를 매입하고 현지에 파견할 인력 1000명도 선발 중이다. 연봉 2배와 주택 제공 등 파격적인 혜택을 내걸었다. 

최근 반도체 장비업체인 한탕 시스템 인테그레이션(이하 한탕) 및 판슈안 시스템 테크놀로지(이하 판슈안)와 계약을 체결했다. 각각 클린룸과 EUV 장비 공급을 맡는다. <본보 2021년 7월 6일 참고 TSMC, 美 공장 착공 초읽기…양산 목표 순항>

클린룸과 EUV 공정은 반도체 제조 핵심이다. 클린룸은 반도체를 제조하는 양압시설로 한탕이 공급하는 장비는 미세먼지를 제어하는 반도체 품질 관리의 핵심이다. EUV 노광 공정은 반도체 미세공정화에 추세에 따라 주목받고 있다. 판슈안은 네덜란드 ASML의 EUV 노광 장비에 쓰이는 모듈 설비를 공급한다.